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真空泵使用要点

真空泵使用要点


• 1.真空泵用于抽洁净气体,不能抽有毒、易燃、易爆、腐蚀性气体或者蒸汽、化学品、溶剂及粉末等。如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。这些气体容易使轴承失效。


2.进气温度必须低于50℃,否则在被抽真空室与泵进气口之间必须加冷阱,降温至低于50℃。 


3.抽含有水蒸汽的气体时,要打开气镇阀抽气,被抽气体水蒸汽含量要求在23克/日以下。如果超过此极限,将会缩短气镇阀寿命。


4.真空泵不能在腐蚀性、易燃、易爆气体或蒸汽环境中工作,否则会有爆炸、火灾等危险。


5.不要由一两个人移动此泵。此由专业人员搬运、安装、配置、配线、操作、维护和检查,否则会有触电、受伤或者泵甚至被抽真空室损坏的危险。


6.不要继续使用已经损坏的泵,否则会有受伤、触电甚至被抽系统损坏等危险。


7.检查确定此泵安全接地。


8.此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件(因为工作时很热,最高可能达到70℃)。如确实需要接触,采取必要防护措施防止受伤。


9.必须安装电机保护开关。


10.不要刮碰进气口与排气口法兰,以免损坏法兰口,导致真空度上不去。


11.在进气口处装截止阀。真空泵停止后进气口处真空度降低,是因为排气口处的大气返至进气口处,不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度,要在真空室与泵之间安装截止阀。


12.排气口处要接排气管,以防灰尘进入泵内。